一、低溫回火
回火溫度為150℃～250℃。在低溫回火時，從淬火馬氏體內部會析出碳化物薄片（Fe2.4C), 馬氏體的過飽和度減小。部分殘余奧氏體轉變為下貝氏體, 但量不多，所以低溫回火后組織為回火馬氏體＋殘余奧氏體，下貝氏體可忽略。低溫回火的目的是降低淬火應力，提高工件韌性，保證淬火后的高硬度(一般為58HRC～64HRC)和高耐磨性。
二、中溫回火
回火溫度為350℃～500℃，得到鐵素體基體與大量彌散分布的細粒狀滲碳體的混合組織，叫做回火屈氏體(回火T)。鐵素體仍保留馬氏體的形態，滲碳體比回火馬氏體中的碳化物粗，回火屈氏體具有高的彈性極限和屈服強度，同時也具有一定的韌性，硬度一般為35HRC～45HRC。
三、高溫回火
回火溫度為500℃～650℃, 得到粒狀滲碳體和鐵素體基體的混和組織, 稱回火索氏體。
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